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刻蚀机是一种用于微纳加工的技术设备，主要用于在材料表面去除一层物质，形成特定凹凸图形，以实现微电子、光电子器件的制造。刻蚀机技术类型多样，包括化学蚀刻机和电解蚀刻机等，其中化学蚀刻机通过化学反应或物理撞击作用移除材料，而电解蚀刻机则是利用电解作用进行刻蚀。此外，还有干法刻蚀和湿法刻蚀两种主要技术路径。干法刻蚀，如等离子刻蚀机，利用等离子体与材料表面反应，实现刻蚀，广泛应用于RF射频器件、MEMS传感器、磁性器件等的制造。湿法刻蚀则包括使用化学溶液通过化学反应达到蚀刻目的，常见于低端产品的制造。