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用途
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

一般的电热真空无尘干燥箱都采用先加热真空室壁面、再由壁面向工件进行辐射加热的方式。在这种方式下,控温仪表的温度传感器可以布置在真空室外壁。传感器可以同时接受对流、传导、和辐射热。而处于真空室里的玻璃棒温度计只能接受辐射热,更由于玻璃棒黑度不可能达到1,相当一部分辐射热被折射了,因此玻璃棒温度计反映的温度值就肯定低于仪表的温度读数。一般讲,200℃工况时仪表的温度读数与玻璃棒温度计的读数两者相差30℃以内是正常的。如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内,玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异,可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。

无尘洁净烘箱的操作要求:
1.氮气口:操作前应将氮气接通本机之氮气口,特别注意在接通前先将N2压力调节至适合的流量值。
2.将烘烤物置入箱内后须将门面关闭,门扣确实扣紧后,门面安全开关有作用,机台才能顺利启动。
3.无尘洁净烘箱后方之冷却排风口,请接至排气系统冷却时有高温,接管须加保温隔热以防操作人员烫伤或影响工作环境。
在开始工作前的话要确认电气是否正常,将检测物品正确放置箱内,开启电源开关并调整温控仪表、适当的温度与加热恒温时间,并目操作人员要专心操作并配戴防护器具:并不得离开加工区

无尘洁净烘箱是一种新型可营造无氧的恒温环境的电热鼓风干燥箱,在加温工作的同时充入氮气,适用高温易氧化产品烘烤,可满足半导体电子、金属、晶圆、油墨、医疗卫生仪器、仪表,工厂,高等院校,科研部门等相关单位作生产烘实验的需要。该烘箱采用不锈钢工作室(满涅制造、覆套不锈钢加热器加热,充入惰性气体,因此干娱箱内造成洁净(可选装耐高温过滤器,达到洁净无尘要求)和温度均匀的微氧高温环境(含氧浓度20-500PPM ),有助于提高产品质量,该箱外形美观,使用方便控温灵敏

无尘洁净烘箱的使用注意事项及操作规程
A.以电力为热源(电加热),可长期在250°C温度下工作,提供了安全可靠的。
B.烘烤区的温度是由微电脑PID控制或采用PLC控制,可对烘箱内温度实时多点显示及自动记录。C出风口装有耐高温空气过滤器,每次运风循环均充分过滤(CLASS100 ),有效防止外界空气对内部的二次污染.D.装有过滤器,电热烘箱内部循环热风经高温空气过滤器反复过滤,了进入无尘空间的热风达到100级洁净之要求。
E双层洁净烘箱采用完全立的可编程加热控制系统及运风系统,了各洁净区之间的隔离,防止了由于误操作而引起的不符合GMP要求的事故发生。
F.必要时洁净烘箱还可加装充氮接口(充入惰性气体保护),防止被烘烤产品的氧化

无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

温度设置1、设置温度不可超过额定温度,真空下物料燃点、沸点骤降,设置温度不合理会造成固态物料熔融结块等现象;2、数显温度需正常指示,若不显示或出现闪烁、跳跃等异常需及时关闭电源并联系仪器负责人;3、操作人员需待实际温度与设置温度一致,加热指示灯熄灭后,方可离开;4、为避免控温失灵,需有专人定时查看仪器运行是否正常,并留意烘烤物料变化情况,若发现异常需第D一时间关闭加热、切断电源、打开放气阀门。

按动“加热”开关(加热器通电),无尘洁净烤箱进入正常工作,根据工艺要求设定温度,当台车烘箱温度上升接近设定值时,加热器电源时通时断,台车烘箱进入恒温工作。无尘洁净烤箱操作结束后应立即关闭电源开关,做好无尘洁净烤箱的清洁和保养工作。无尘洁净烤箱正面上方设有一圆形进气口,调节进气口大小可调节烘箱的进气量,其进气量增加,箱顶排气口排气量也增加,可根据实际情况合理调节进排气量,一般无尘洁净烤箱刚开始启动或温度较低时关闭进气门,以利无尘洁净烤箱的温度上升,当无尘洁净烤箱内温度较高时打开进气门,以利于水分排出。

一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风,为了达到内部无尘的环境,需要在出风口的位置增加高温过滤装置(又分为千级和百级过滤器)。烘箱内的空气通过回风口后,一部分经过排气口排除箱外,另外的经过循环通道再次加热,后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外,另外要尽量避免工作过程中产生灰尘,需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。

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