等离子体源火炬质谱分析等离子体源

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

材料处理：微波等离子体源可用于表面处理、薄膜沉积和蚀刻工艺。它们可以帮助在各种材料上沉积薄膜，或改变材料的表面特性。

Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物，例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质，提高处理效率，并减少对环境的影响