溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。
真空是支撑真空镀膜机运行的环境，尤其是需要高真空度的设备。通常，我们需要达到高的真空度，而抽气系统的功能是不可缺少的。但是除了抽气系统之外，真空镀膜设备的操作还有一点，就是工件的脱气。有些工件内部有大量气体和水分，在设备加热时会排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些气体含有有毒成分，直接破坏真空室内部机械结构，导致设备无法正常运行。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。