住友低温泵,三井

闭路循环气氦制冷机低温泵 它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，冷板温度为50～100K，典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。

活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小系数。泵的极限压力为帕，工作压力范围为帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。

耐腐蚀性：能够承受除了熔融的碱金属，氟化介质以及300℃氢氧化钠之外的所有强酸（包括王水）、强氧化剂、还原剂和各种的作用。

绝缘性：不受环境及频率的影响，体积电阻可达1018欧姆?厘米，介质损耗小，击穿电压高。
耐高低温性：对温度的影响变化不大，温域范围广，可使用温度-150~260℃。
表面不粘性：已知的固体材料都不能粘附在表面上，是一种表面能小的固体材料。

活塞环、导向环液氧泵主要由机座、传动机构、十字头组件、泵体、缸套和柱塞、泵头和排液阀、密封填料、液体过滤网等部分组成。密封件：活塞环 导向环 密封圈 增压泵配件，液体泵配件，液氧泵配件，柱塞泵配件。

低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。 注入式液氦低温泵 主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。