闵行卡尔蔡司扫描显微镜应用

指出，复杂氧化物、复杂夹杂物、复杂化合物中用“复杂”来形容D类非金属夹杂物不科学，“复杂”常被用来形容社会科学和人类生活的难易程度，很少用在术语的描述，用他形容这种D类非金属夹杂物的复杂程度即抽象又不确切，不能给出形貌和数据的概念；第二，叫复合夹杂物也值得商榷，“复合”是一种搀和的意思，复合夹杂物是一种混合物的概念，混合物带有机械混合之意，混合物内各组元的分布无规律；第三，叫复杂化合物也不妥，化合物是纯净物，由不同种元素组成的纯净物叫做化合物，并可以用一种化学式表示，而混合物则不是，也没有化学式。

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用二次电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。