郑科探小型坩埚真空镀膜仪

小型坩埚真空镀膜仪是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜
小型坩埚真空镀膜仪的技术资料
控制方式 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
加热方式 数字式功率调整器
镀膜功能 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率 ≤1200W
输出电压电流 电压≤12V 电流≤120A
真空度 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa
挡板类型 电控
真空腔室 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台 可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速 8转/分钟
样品蒸发源调节距离 70-140mm
蒸发温度调节 ≤1800℃
支持蒸发坩埚类型 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
预留真空接口 KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）