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工作原理如下：取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚62，盖上外部加料器6的上盖63，将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚21，当外部化料器7中的硅料加完后，再关闭旋阀64，把外部加料器6充常压，打开外部加料器6的上盖63继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件；本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） 　　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子） 　　F． 转筒式炉 　　G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中，这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）4． 连续式电阻炉　　A． 推送式炉 　　B． 传送带式炉 　　C． 网带炉（适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。