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张家港提拉式长晶炉回收滤波柜回收快速到达

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专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。
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流量计的在此用途10.热电堆的作用原理输入输出(好坏如何检测)11.红外测温仪作用原理输入输出包括依儿根(好坏如何检测)12.各密封处的检测方式13.电动球阀的原理作用原理输入输出(好坏如何检测)14.各水管的来去向15.对中等的调节机构了解各部件的连线方式以及去向///三部分炉体(下部)1.水压表的作用原理输入输出(好坏如何检测)2.电机作用原理输入输出(好坏如何检测)3.编码器,减速器,离合器作用原理输入输出(好坏如何检测)4.手动机构作用原理输入输出(好坏如何检测)分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座,所述旋转套铰接在拖板上,所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上,所述旋转电机安装在固定座上,所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接,所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接,所述加料器旋臂铰接在拖板上,以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出,使得固定座产生位移,并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位,并方便副炉室的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置,所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上,以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降,并通过副炉室旋臂带动副炉室升降,所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间,以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转,副炉室旋臂又带动副炉室旋转。

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