江苏姜堰多晶硅铸锭炉回收控制柜回收联系电话

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工作原理如下：取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚62，盖上外部加料器6的上盖63，将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚21，当外部化料器7中的硅料加完后，再关闭旋阀64，把外部加料器6充常压，打开外部加料器6的上盖63继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件；本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，具体地，为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强，进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命，所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中，所述螺钉16设置有四个，为了当不再继续加料时，可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并方便外部化料器7的移动、拆解和清理，连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18，所述底座1上设置有立柱10，所述化料器旋臂18铰接在立柱10上，所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上，所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置；和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。