江苏丰县长晶炉回收分子泵回收现场报价
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工作原理如下:取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚62,盖上外部加料器6的上盖63,将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚21,当外部化料器7中的硅料加完后,再关闭旋阀64,把外部加料器6充常压,打开外部加料器6的上盖63继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件;本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,从除尘区域经上盘12 个圆孔进入排气区域(排气筒) 的弃尘气流终由排气口排出除尘器。上面主要论述了这种混合式除尘器的除尘机理和过程。值得提出的是,出于某些因素的考虑例如体积小、结构简单、经济性等等,该除尘器略去了排尘区域。所以,应该经常性拆卸进行清灰工作。下面给出这种除尘器的主要技术参数:圆柱容器高度H = 900mm; 内径= á 270mm; 进气口轴线偏离圆柱容器线e= 85mm; 进气口与排气口通径均为á 89mm。内、外层金属网均采用50 目的不锈钢丝网。顺便提一下,在很多情况下,用户拆去全部金属杆和金属网,仅以离心力作为主要除尘机理便满足了单晶炉真空系统的除尘要求。