ULVAC爱发科UTM-3303FH磁悬浮分子泵维修

ULVAC爱发科UTM-3303FH磁悬浮分子泵维修，ULVAC爱发科UTM-3303FH磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵，ULVAC爱发科UTM-3303FHf分子泵抽速可达到10L/s，电机功率：10kW，工作压强范围：15Pa

ULVAC采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。

UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承，实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型，提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺，FW系列是广域·大流量型，用于高负荷工艺和中间·硬工艺。