SIMCO-ION思美高4635静电离子消除发生器

SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
制品情报
モデル4635クアッドバーは、従来のモデル4630/4632に更なる磨きを挂け、除电性能と使い易さを向上させた高クリーンイオナイザーです。レチクル用等、限られたスペース及びエアフロー环境における除电に适します。
特长
■自のIsoStat方式によるイオンバランス自动调整を採用。调整作业は不要です
■供给电源は24V DC及び24V ACに対応
■単结晶シリコン电极の为、高クリーンかつ半导体デバイスにも安全
■7.6cmの小设置距离とコンパクトサイズが自在な设置レイアウトを実现
■新设计のパージエア流路は长距离、高速除电化を実现

仕様
イオン発生方式 コロナ放电式 ステディーステートDC方式
电极 単结晶シリコン(交换可能)
クリーン度 ISO Class 1(24V DC) ISO Class 2(24V AC)
対応パージガス クリーンドライエア 及びN2
エア接続 4mm内径配管
エア流量 ～25LPM
入力电圧 24V AC +/-5%, 50/60hz, 0.1A typ

24V DC +/-5% 0.025A typ
除电时间　 15LPMエアパージにて<15sec, 30cm距离
(スタンダードカートリッジ)
15LPM エアパージにて <6sec, 30cm距离

(ジェットクロスチャンネルカートリッジ)
イオンバランス +/-20v　15cm距离
连结可能数 14-1535トランス使用时 大4台
4030コントローラ使用时　大　15台
寸法 高さ33mm x 幅33mm x 长さ91mm
除くエア接続部
重量 108g