S-Wave等离子体源PECVD系统

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

材料处理：微波等离子体源可用于表面处理、薄膜沉积和蚀刻工艺。它们可以帮助在各种材料上沉积薄膜，或改变材料的表面特性。

Sairem是一家专注于射频与微波技术的公司，其微波源产品可应用于各种领域的加热和干燥需求，包括医药领域的药材加热。 在药材加热方面，Sairem的微波源可以提供高频率、高功率的微波能量，用于对药材进行加热处理。这种加热方式具有快速、的特点，可以准确控制加热温度和加热时间，有效提高药材的品质和功效。 Sairem的微波源产品还可以与其他设备和系统集成，实现自动化的药材加热过程，提高生产效率和产品质量。 总之，Sairem的微波源在药材加热方面有着广泛的应用前景，可以满足药材加热的需求，并提高药材的质量和效果。