ULVAC-CRYO-U8H-U爱发科低温泵CRYO-U8H-U真空泵维修保养
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爱发科低温泵CRYO-U8H-U真空泵适用行业
低温泵广泛应用于半导体,平板和光学设备制造,真空镀膜、表面分析、半导体加工、溅射镀膜、离子注入等领域。
产品特点
◆极纯净真空环境,能排出所有种类气体;
◆不需要液氦,运行成本低廉,能在任意方向进行安装;◆设计紧凑轻便,操作简单;
◆排气速度远离子泵、涡轮分子泵。
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