NE-PE02纳恩科技实验室真空等离子清洗机

NE-PE02是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。


NE-PE02 系统功能特点：

•的不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，密封性
·数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，佳气体控制


设备参数

序号 项目 型号规格 参数
1 等离子体发生器 功率 0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器 自动阻抗匹配
频率 40 KHz
2 真空反应腔室 腔体材质 进口 316 不锈钢，级密封
腔体容积 2L
电极数量 1 个镀金铝合金电极 + 1个不锈钢托盘
腔体直径（圆形） 100（W）×270（D）mm
有效处理范围 80（W）*235(D)mm
绝缘陶瓷 进口高频陶瓷
3 气路控制 气体流量控制器 浮子针阀流量控制器， 0-500ML
气路数量 小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氨气，氢气，四氟化碳等
4 真空测量 真空计 SMC 真空计
5 抽气系统 真空泵 飞越 8 M3/H
极限真空度 0.1PA
真空管路 不锈钢管路+气动阀门
6 控制系统 触摸屏 4.3寸
PLC 松下PLC模块
软件程序 自主专利设计等离子控制系统
7 场务条件 电源供应 220V
气管接口 直径8mm
气体纯度 99.99%
气体压力 0.3-0.6Mpa
排气口 KF25
8 整机参数 整机功率 1000W
外形尺寸 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W)
×450 mm(H)
重量 40kg