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单晶炉真空系统的除尘技术/单晶炉是单晶体生长设备。单晶体生长要求在真空和惰性气体中进行。真空装置应能保炉体内热真空度达5×1024mm 柱以上。如果使用惰性气体作保护气氛,炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时,抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘装置。西安理工大学工厂生产的混合式除尘器较好地解决了这一问题。本厂单晶炉系列:TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多种炉型近百台产品都使用这种除尘器。实践明,它的主要优点是除尘,能适应不同抽气阶段真空度的要求,容尘量大。其具体结构见图2、图3。该除尘器综合运用离心力、惯性碰撞、接触阻留、扩散这几种除尘机理。
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根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6、 根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口 (13)通过通气管(19) 相连通。7、 根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)由石墨制成。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步为了避免下驱动装置受到外界震动的影响,进而保下驱动装置的工作精,所述底座和下驱动装置之间设置有减震装置,所述下驱动装置的底端设置有承载板,所述承载板通过少两个螺钉固定连接在底座上,所诉减震装置包括与螺钉分别一一对应的下减震橡胶垫和上减震橡胶垫,所述下减震橡胶垫套装在螺钉的下端部,所述下减震橡胶垫的底部和底座抵接,所述下减震橡胶垫的顶部和承载板抵接,以便于通过下橡胶减震垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫套装在螺钉的上端部,且所述上减震橡胶垫与承载板的上端面压接,以避免螺钉的震动影响到承载板。

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