日本motoyama薄膜晶体制造设备LPE炉
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日本motoyama薄膜晶体制造设备LPE炉
LPE（液体，相位，外延）薄膜晶体制造设备在日本拥有100多个单位。它由垂直管式炉，旋转升降驱动轴和控制单元组成，控制单元具有的温度控制精度，可实现的薄膜晶体生产。
的均热特性
样品轴旋转升降驱动机构
也可以添加到现有的熔炉中（有限制）
惰性气体引入机制
液体接触电信号
排气罩
根据实际制造过程进行计算机自动操作控制（也可以中断手动操作）
通过预先输入过程详细信息，将以确定的值自动执行目的地，移动速度，旋转状态和旋转速度。
| LPE薄膜晶体制造设备规格 | |
| 加热器容量 | 单相200V 2.3kW x 3个区域 |
| 加热室尺寸 直径x高度mm | φ280×H650毫米 |
| 常温 | 800℃〜900℃ |
| 高温度 | 1000℃ |
| 温度分布 | ±2℃（空气炉稳定在850℃时，φ100×H200mm的空间） |
| 温度波动范围 | ±0.2℃（空气炉稳定在850℃时，φ100×H200mm的空间） |
| 加热元件 | SSS加热器 |
| 芯管 | φ220×φ205×L800mm |
| LPE熔炉驱动单元（样品轴）规格 | |
| 提升速度 | 20-300毫米/分钟 |
| 停止精度 | ±1mm以内 |
| 旋转方式 | 前进/后退 |
| 转速 | 20-300 rpm（带软启动） |
| 转速波动精度 | 在±1％FS之内 |