河南省新乡市GB/T16944-2009电子工业用气体氮检验
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GB/T 16944 2009《电子工业用气体氮》是中国国家标准,主要规范了电子工业中使用的液态和气态氮的技术要求、检验方法、包装及标志等方面的内容。以下是一些关键点:
技术要求 : 纯度 :氮气纯度需达到99.9996%,即含氧量不超过0.0004%。 杂质含量 :除了纯度外,还对水分、二氧化碳、氩、氢、碳氢化合物等杂质的含量有严格限制。
2. 检验方法 : 包括对氮气纯度、杂质含量、水分、压力等参数的检测方法。
3. 包装与标志 : 对氮气的包装容器(如气瓶)的材质、容量、标识等有明确要求,确保运输和存储的安全性。
4. 适用范围 : 适用于通过分离空气或氨还原法得到的氮气,在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压,以及在化学气相淀积过程中作为载气。
5. 安全与环保 : 指导如何处理充装前的气瓶,包括加热、抽空、置换等步骤,以确保氮气的安全使用。 请注意,GB/T 16944 2009是2009年版的标准,随着时间的推移,可能有新的标准或更新版本发布,以适应技术和实践的发展。如果需要 的信息或更详细的规范,建议查阅 版本的中国国家标准或者联系相关行业组织获取 资料。
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