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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) )
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D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移) E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座,适用于大型炉子) F. 转筒式炉 G. 密封箱式炉(又称为多用炉,可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热,辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中,这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)4. 连续式电阻炉 A. 推送式炉 B. 传送带式炉 C. 网带炉(适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,加热元件采用硅碳棒,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,,拉伸强度高,大大提高了使用寿命;2、可抽真空,并能通入多种保护气氛(易、强腐蚀性气体除外);3、超压自动泄压,超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠;4、我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联,可实现单台或者多台电炉远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;5、可选配通过触摸屏操作的方式对真空系统、充气系统、温控系统进行程序控制,操作简单方便,无误。