电路
臭氧发生器电路由三极管VT1、VT2与电感线圈L1一13、脉冲变压器T、限流电阻器R1、充电电容器C3,双向触发二极管叨5等组成推挽振荡电路；滤波电感线圈L0,整流二极管VD1与滤波电容器C1、C2等组成半波整流滤波电路。 接通电源，交流220V电压经LO滤波，VD1整流后，在C1两端产生十280V左右的电压，供给推挽振荡电路。 在开机瞬间，VT1导通。由于C3的充电作用，双向触发二极管VD5截止。当C3两端的充电电压升至32V时，VD5被触发而导通，使VT2导通。在VT2导通期间，C3逐渐放电，又使VT2截止。VTl导通后，在脉冲变压器T的作用下，L1、L2上产生正反馈电压，此电压分别加至VTl和VT2的基极，使VTl和VT2交替导通与截止（即VTl导通时，VT2截止；VT2导通时，VTl截止），推挽振荡电路振荡工作。 推挽振荡电路工作后，在脉冲变压器T的二次侧绕组L6上产生脉冲高压，使臭氧发生片VG工作，产生臭氧。
同时，发光二极管VD7也点亮工作。 元器件选择 VTl、VT2选用2SC2653或BU406型硅NPN高反压三极管。要求电流放大系数β>100。 VDl一VD4、VD6选用1 N4007型整流二极管；VD5选用DB3型双向触发二极管。 R1一R6全部选用RJ一1/8W型金属膜电阻器。 L0为5mH的磁心电感线圈，可用Φ0.25mm的漆包线在骨架上绕210匝；L1一璐用Φ0.2mm的单心塑铜线在同一磁环上绕制而成，其中L1、L2分别绕3匝，L3绕9匝。脉冲变压器T可使用14in（英寸）黑白电视机行输出变压器改制，改制时用高压包作为L6，在低压包骨架上用Φ0.45mm的漆包线绕168匝作为L4，用Φ0.23mm的漆包线绕4匝作为L5（在外层绕制）。 臭氧发生片VG选用Z二10或Z一15、Z一20等型号。 制作与调试 除臭氧发生片VG外所有电子元器件安装在一块自制的印制电路板上，并将其装人大小合适的塑料或木制盒内。在盒面开孔固定发光二极管VD7，接上臭氧发生片VG，只要元器件良好、接线无误，通电即能正常工作。
发生器与放电管
臭氧系统的核心技术和设备是发生器中的放电管，直接影响设备的运行效率和可靠性。臭氧发生器采用微间隙介质阻挡放电设计，不仅大大提高了运行的效率，而且增加了系统连续运行的安全可靠性。设备的技术参数已经达到国际水平。
由于采用微间隙放电技术，使系统运行电压降低为6-8 kV，远低于玻璃管绝缘介质的耐压水平，有效地避免了介质击穿短路故障的发生，提高了运行可靠性。
臭氧发生器放电单元所采用的模块化设计方法，使设备的安装，检修和维护工作更加容易。在进气气源质量的条件下，臭氧发生器放电单元连续运行的免维护时间可以长达5年。
臭氧是一种氧化性的不稳定气体，臭氧输出浓度受多种因素的影响，其中腔体温度是极重要的因素之一；臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半。在 40~50℃ 时衰减达到80%。超过60℃臭氧会马上分解。
臭氧产量是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出量；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气量数值的乘积即为臭氧产量；通常使用mg/h,g/h,kg/h这些单位表示。臭氧发生器标准中规定臭氧发生器规格型号使用臭氧产量表示和区分。小型臭氧发生器使用g/h为单位，大型臭氧发生器使用kg/h为单位区分规格的大小。
2011年国家出台了新的国家标准，次规范了臭氧在不同用途中的浓度。
臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
紫外线式臭氧发生器
该类臭氧发生器是使用特定波长（185mm）的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。
使用说明
1、安装人员要经过技术培训才能开机维修。
2、使用臭氧机杀菌时，严禁工作人员在浓度较高的臭氧环境中上班和工作。
3、切记设备保养或维修时 处理电源断掉和把臭氧泄气的状态下进行，能够很好的确保人员安全维修。
4、如有异常，请立即断电或者通知的人员进行检修。
5、合格的接地线，安全可靠的接地，禁止安装在氨气易泄露或有发生爆炸危险的危险区。
6、对工艺流程臭氧发生器的应用方法操作人员应知晓，并且能熟练的操作此消毒设备。
7、如发生臭氧泄漏的情况需要时间关闭臭氧发生器，并开启通风设备进行通风处理后，即时退出臭氧发生器使用空间，等空间残余臭氧降至安全范围再进入。