山东混合气、未知成分气体第三方检测机构

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特种气体：现代工业“粮食”

特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。20 世纪 80 年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，外资开始通过收购、新设等方式建立气体公司进入 中国气体市场，向国内气体用户提供气体产品，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。

从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、医疗、环保和装备制造等领域。

广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。