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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6、 根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口 (13)通过通气管(19) 相连通。7、 根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)由石墨制成。
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由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,整个炉内的 一氧化硅与的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外,整个炉内不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀,还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上,从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置,缩短了排气管路的长度,利 于提高排气效率。