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氦质谱检漏仪用高纯氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。是一种应用于国内外的真空容器检漏技术。与一般的检漏技术相比，氦质谱检漏技术快速、准确、灵敏度高及无损伤性等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：
1、氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，易于发现；
2、氦分子小、质量轻、易扩散、比其它气体易穿越漏孔；
3、氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；
4、氦气是、无味，对大气。
5、氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤设备；
6、氦气，不凝结，极难容于水。
正因为氦气具有以上特性，所以氦气检漏应用已从科研院所到工业企业乃至到个体企业，可以说应用领域极其宽广。