GES5E光谱椭圆偏振仪/USED二手Sopra光谱椭偏仪

GES5E 光谱椭圆偏振仪/USED二手Sopra光谱椭偏仪

USED二手Sopra光谱椭偏仪(USED Spectrometer Ellipsometer/(二手 Spectrometer Ellipsometer))




GES5E CCD Type SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER
250nm-1000nm
Specifications
The standard system includes:
1. Source module
 Xenon Lamp 75 W (MTBF >3000 Hours) with collimating optics.
 Mounted in an Air cooled module directly adapted on the ellipsometer.
 Delivered with stabilized power supply & time counter.
2. Polarizer and Analyzer arms
Polarizer and analyzer both consist of high quality Rochon (quartz) :
 Extinction ratio at 632.8 nm for polarizer : >104
 Theoretical motion Resolution: (51200 micro-steps/turn ie 7.10-3 °).
 Ellipsometry mode, the polarizer speed: 6 Hz.
 Polarizer and analyzer angle can be selected through the software.
 Beam diameter: adjustable (from 1 to 5 mm).
 Beam divergence: 3 mrad (0.18°)
 Analyzer arm is connected to spectrometer with optical fiber (SOPRA patent).
Automated attenuators in the path of the beam and wavelength cut off filter (on demand) included
in polarizer arm. The combination of the attenuators and the PMT detector allow a very high and
almost constant SNR over the all spectral range.
3. UV VIS 250nm-1000nm OMA-CCD Spectrograph
Spectrograph allowing Multi-Channel acquisition of full SE spectrum (max. 1024 wavelengths)
simultaneously onto a CCD array detector.
Enabling fast and repeatable Thin Films measurement on single and multi-layer stacks
(compatible with low tact times).
Package includes :
• UV-Visible range: 250 to 1000nm
• FWHM bandwidth: less than 3 nm over the whole spectral range
• Linear dispersion : typically 0.85nm per pixel over the whole spectral range

GES5E CCD型光谱椭圆偏振仪

250牛米-1000牛米

规格

标准系统包括：

1.源模块

配有准直光学系统的75 W氙气灯（MTBF>3000小时）。

安装在直接适应椭圆仪的空冷模块中。

提供稳定的电源和时间计数器。

2.第二步。偏振器和分析仪臂

偏光器和分析仪均由罗氏（石英）组成：

极化器在632.8 nm下的消光比：>104

理论运动分辨率：（51200微步/转IE 7.10-3°）。

椭圆偏振模式，偏光器速度：6赫兹。

可通过软件选择偏光器和分析仪角度。

光束直径：可调（1至5 mm）。

光束发散：3 mrad（0.18°）

分析臂通过光纤连接到光谱仪（Sopra专利）。

自动衰减器在光束路径和波长截止滤波器（按需）包括

在偏光器臂上。衰减器和PMT检测器的组合允许非常高的

在整个光谱范围内几乎是恒定的信噪比。

三。紫外-可见光谱250nm-1000nm OMA-CCD光谱仪

允许多通道采集全SE光谱的光谱仪（大1024波长）

同时安装在一个CCD阵列探测器上。

在单层和多层堆叠上实现快速和可重复的薄膜测量

（与低接触时间兼容）。

包装包括：

•紫外线可见范围：250至1000nm

•FWHM带宽：在整个光谱范围内小于3纳米

•线性色散：在整个光谱范围内，每像素通常为0.85nm。