GB/T16945-2009电子工业用气体氩检测

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对于气体，纯度是衡量气体质量的标准。作为惰性气体，氩气可以用作生产单晶和多晶的保护气体。为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气非常重要，这不仅可以提高晶体的寿命，而且可以满足市场需求。

通常，氩气净化过程由清洁装置实现。氩气提纯方法可分为直接脱氧法和吸气剂提纯法。

直接脱氧法：活性金属与氩气中的氧反应，消化氩气中氧，达到脱氧的目的。分子筛吸附的氩气中的水分子使氩气的水含量小于1ppm。

吸气剂清洁方法：使用吸气剂清洗剂或干燥剂。吸气剂可以与氩气中的痕量单元形成稳定的连接，以达到精炼氩气的效果。经吸气剂净化法净化后，高纯度氩气的纯度可达6个9。

上述两种方法是对氩气净化方法的简要介绍。相比之下，吸气剂清洗方法在设备上投资大，但纯度高。这种方法在工业中得到广泛应用。