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所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接，以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接，以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐高 温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。本发明具有积极的效果(1)分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，其次，国产设备相比进口设备拥有明显的成本优势，行业平均价格只有进口设备的1/36；本生产的全自动单晶硅生长炉产品主要服务于行业排名前列的大型客户，产品销售价格虽然明显其他国内厂商，但售价仍然只有国外同类设备的2/3 左右，因此，使用国产设备可以大大降低国内硅片企业的设备投资成本。再次，国内企业还拥有贴近市场、反应迅速、服务便捷的明显优势。凭借这些优势，国产光伏设备不仅占据了国内绝大部分市场，还实现了批量出口亚洲市场，少量出口到欧美市场。