永磁式交流伺服电机提供业界的高速平滑运动；
圆光栅测角重复性可达±0.0002度，精度达±0.0006度，足以的角度测量性能；
数字多道分析仪
进样系统：双进样系统，标备除尘过滤器和预抽真空系统；一个样品测量的同时给另一个样品预抽真空，互不干扰
自动进样机：自动机械手进样系统，多可装168个样品
自旋装置：3种自旋速度(低、中、高)
光路
准直器面罩：单面罩，(其他尺寸27， 32 or 50mm可选)
主准直器：多可装3个: 100， 150， 300， 550， 700 or 4000 um， 可选
主滤光片：多4片: Pb，Al，Cu等元素可选
晶体：多10个: LiF420，LiF220，LiF200，Ge111，PE002，InSb， TIAP，以及用于轻元素测量的各种人工多层膜晶体.
探测器：流气比例计数器 (FPC)， 可配0.3um厚的窗膜
闪烁计数器 (SC)
光室真空度：<15Pa