嘉定净化车间工程
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电子洁净车间在无特别的要求的情况下,温度控制在22℃上下,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种室内环境下,大家若是感觉较为舒适的话,那就表示静电消失了。
综合多个行业我们总结出温度湿度对无尘车间的影响:
细菌病毒生长;
工作人员感到室温舒适的范围;
发生静电荷;
金属腐蚀;
水汽冷凝;
光刻的退化;
吸水性。
测试无尘车间的洁净度需要施工方的工作人员按照方法去做,洁净度测试方法不正确的话,测试结果是不达标的
空态检测方法
指的是无尘车间系统已处在一切正常的运转状态,但工艺设备以及工作人员还未进入到无尘车间的情况下检测的。
为了无尘车间的洁净度,温度、湿度等参数,往无尘车间送入大量的空气,送风的风机和供水的水泵等动力设备也要消耗可观的能量。
无尘车间的冷负荷中的主要负荷是新风冷负荷,消除工艺设备和工艺过程产热的冷负荷和抵消风机和水泵发热的冷负荷,这三项负荷占总冷负荷的90%以上;而围护结构、照明和作业人员三项冷负荷不足总冷负荷的10%。