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结合单晶炉提拉系统实际结构,进行了系统UG三维实体建模、动平衡数学建模、计算以及提拉系统动平衡仿真配平工作。系统动平衡分析、计算的结果明,提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后,针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构,进行了提拉系统理论静不平衡量的大小、相位计算,三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,排气筒与排气口相通。上盘的几个圆孔是除尘区域和排气区域通道。含尘气流未从上盘12 个圆孔排出去之前,实际的气流运动是很复杂的。除切向和轴向运动外还有径向运动。这样含尘气流会反复经过金属网(支撑内、外层金属网的金属杆相互错列,很明显能够增加气流穿过金属网的次数)。前文已详细论过除尘机理,很容易看出惯性碰撞、接触阻留、筛滤作用、扩散在这时将成为除尘的主要作用力。尘粒与气流分离界面是内、外两层金属网(包括上盘在内)。

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