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对比几个真空镀膜机的检漏方法:
氦质谱检漏该工艺是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术,因为检漏率,简单易使用,仪器设备反映灵敏,,不容易受别的气体的影响,在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理,用氮气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子,在房间内不停地震荡,并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键,这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场,因为洛伦兹力作用产生偏转,产生圆弧状轨道,更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中经常使用的这两种方式。采用真空法检漏,镀膜机不需要停机,直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪,在怀疑有漏的地方喷氦气,即可完成检漏。

真空系统是镀膜机达到工艺条件的基本设备,其真空度达不到或者达到真空度速度慢,都有可能是由于存在漏点所致,所以真空卷绕镀膜机设备的真空系统需要定期真空检漏。真空卷绕镀膜机通常采用氦质检漏仪来查漏,主要用负压法检漏即将氦质谱检漏仪的检漏口接入镀膜机的真空系统,在可能泄漏地方喷氦检漏。

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真空镀膜机工作的环境要求:
真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。
这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,破坏了泵的抽气性能。
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真空镀膜设备应用十分广泛,如今在我们的生活中到处可见,是的一项技术。但是真空镀膜设备在使用一段时间后,表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。

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