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发明内容、本发明的目的是提供一种易于及时排出炉内的混合气体,且可减少热 能及消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是提供一种直拉式单晶生长炉,其包括 输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经氩 气输入管输入的气压为0. 8xl0a0. 9xl0a,流量为 30L/min。上述技术方案中,还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该炉底部的排气口之间的气流导向装置;该气流导向装置为碗形,其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔、 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔;该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔,该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1),该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2), 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通,气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、
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