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六氟化硫是硫和氟在高温下反应而成的。
允许浓度：10 ppm（12mg/m3）
六氟化硫在生理上不活跃，在药理学上被认为是惰性气体。但当含有SF4等杂质时有毒。吸入高浓度SF6会出现呼吸困难、哮喘、皮肤和粘膜发蓝、全身痉挛等窒息
气体使用装置可用肥皂液检漏，六氟化硫无腐蚀性，可用不锈钢、铜、铝等一般材料。发生火灾时，用水沙灭火即可。泄漏的气体可以倒入烧碱和熟石灰的混合溶液中进行处理，也可以将泄漏的气瓶放入通风柜。