福州工业六氟化硫化验研究所第三方检验中心
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从有关部门的试验及研究结果可知，SF6气体的毒性主要来自5个方面。
（1）SF6产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。
（2）电器设备内的SF6气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。
（3）电器设备内的SF6气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产生。
（4）电器设备内的SF6气体及分解物与电极（Cu－W合金）及金属材料（AL、Cu）反应而生成某些有毒产物。
（5）电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
纯净的六氟化硫气体是的，但因为其特殊的保存方法，如果泄露会与其他物质产生化学反应，从而变成有害气体。六氟化硫气体以其高耐电强度及良好的热稳定性能，被广泛应用于高压电气设备中。