晶圆高真空退火炉

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准25片

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：百级洁净

真空度：5*10-4 Pa

使用温度：200-550度
青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备、真空设备生产、研发、销售厂家。为客户提供材料热处理、电加热设备及系统集成等全套解决方案。

主要产品：晶圆高真空退火炉、晶圆真空合金炉、半导体材料氧化炉、真空共晶炉、封装外壳烧结炉、非晶材料磁场退火炉、智能温度控制系统和替代进口的扩散炉加热器等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。