电子束光刻胶AR-P617
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- 更新：2025-01-11
- 地区：福建厦门
- 名称：电子束光刻胶,AR-P 617,PMMA/MA950
- 联系：石金良 15396145919
点：
• 用于高分辨率电子束曝光、单层/多层lift-off工艺等
• 感光波段：e-beam、deep UV(248nm)
• 高分辨率(< 10nm)，高灵敏度(PMMA灵敏度的3~4倍)
旋涂曲线：
