140CPS11420胀差传感器

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制备工艺对SnO2的气敏特性也有很大的影响。如在SnO2中添加ThO2，改变烧结温度和加热温度就可以产生不同的气敏效应。按质量计算，在SnO2中加入3～5％的ThO2，5％的Sm2．在600℃的H2气氛中烧结，制成厚膜器件，工作温度为400℃。则可作为CO检测器件。上图右图是烧结温度为600℃时气敏器件的特性。可看出，工作温度在170～200℃范围内，对H2的灵敏度曲线呈抛物线，而对CO改变工作温度则影响不大，因此，利用器件这一特性可以检测H2。而烧结温度为400℃制成的器件，工作温度为200℃时，对H2、CO的灵敏度曲线形状都近似呈直线，但对CO的灵敏度要高得多，可以制成对CO敏感的气体传感器。

结构及参数

SnO2电阻型气敏器件通常采用烧结工艺。以多孔SnO2陶瓷为基底材料，再添加不同的其他物质，用制陶工艺烧结而成，烧结时埋入加热电阻丝和测量电极。此外，也有用蒸发和溅射等工艺制成的薄膜器件和多层膜器件，这类器件灵敏度高，动态特性好。还有采用丝网印刷工艺制成的厚膜器件和混合膜器件，这类器件具有集成度高，组装容易，使用方便，便于批量生产的优点。

下图是电阻型气体传感器的一种典型结构，它主要南SnO2敏感元件、加热器、电极引线、底座及不锈钢网罩组成。这种传感器结构简单，使用方便，可以检测还原性气体、可燃性气体、蒸气等。