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上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制流量。自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
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具体地,为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强,进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命,所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中,所述螺钉16设置有四个,为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并方便外部化料器7的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18,所述底座1上设置有立柱10,所述化料器旋臂18铰接在立柱10上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。

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