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直拉式单晶生长炉的制作方法、专利名称：直拉式单晶生长炉的制作方法、技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的单晶炉剖面示意图；图1-2 中，l为炉筒，2为保温盖，3为保温盖，4为保温材津牛，5为保温罩，6为 加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为炉底护盘、12为输 入管、11为分布有出气孔11-1的环形气体分布器、13为排气口。直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入，并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合，由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上，从而影响了单晶炉的使用寿命。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，进一步为了当不再继续加料时，可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并方便外部化料器的移动、拆解和清理，连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂，所述底座上设置有立柱，所述化料器旋臂铰接在立柱上，所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上，所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上，以便在不继续加料时，通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置；和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构，所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块，所述支撑杆连接在化料器旋臂上，所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上，所述电机连接在丝杠上，所述连接块通过螺纹连接在丝杠上，所述外部化料器连接在连接块上，以便通过电机驱动丝杠旋转，进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动，并通过所述连接块带动外部化料器升降。
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并在副炉室3移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置，并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7，进而方便拆炉和清理；本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量；本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩，进而防止润滑油脂挥发污染原料。