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浙江安吉直拉式单晶炉回收控制屏回收快速到达

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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。
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D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移)   E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座,适用于大型炉子)   F. 转筒式炉   G. 密封箱式炉(又称为多用炉,可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热,辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中,这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)4. 连续式电阻炉  A. 推送式炉   B. 传送带式炉   C. 网带炉(适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,从除尘区域经上盘12 个圆孔进入排气区域(排气筒) 的弃尘气流终由排气口排出除尘器。上面主要论述了这种混合式除尘器的除尘机理和过程。值得提出的是,出于某些因素的考虑例如体积小、结构简单、经济性等等,该除尘器略去了排尘区域。所以,应该经常性拆卸进行清灰工作。下面给出这种除尘器的主要技术参数:圆柱容器高度H = 900mm; 内径= á 270mm; 进气口轴线偏离圆柱容器线e= 85mm; 进气口与排气口通径均为á 89mm。内、外层金属网均采用50 目的不锈钢丝网。顺便提一下,在很多情况下,用户拆去全部金属杆和金属网,仅以离心力作为主要除尘机理便满足了单晶炉真空系统的除尘要求。

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