上海半导体晶圆划片保护液厂家

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国内外研究现状
2011年，瑞⼠的微纳系统研究部提出了如下图所示的基于TSV技术圆片级 真空
封装⽅案。该⽅案由TSV封帽与器件层两部分构成，TSV封帽垂直导 通柱是填
充在硅通孔中的铜柱。器件层上制作有⾦锡电极与铜柱相连，从 ⽽把电信号从
空腔内部的引到空腔外部，后通过硅-硅直接键合实现密 封。该⽅案⽓密性
很好，但是TSV封帽制作⼯艺复杂，热应⼒⼤(铜柱与 硅热失配⼤)，且硅硅键
合对键合表面要求质量很⾼，⼀般加⼯过的硅片 很难达到此要求。

不同类型的半导体晶圆划片保护液在成分和使用方法上可能有所不同。例如，一些保护液包含非离子表面活性剂、消毒活性物质和其他功能性物质，通常以浓缩物的形式提供，使用时需要按一定比例稀释‌。此外，还有针对金属电极和基材的保护液，这些保护液通常包含特定的化学成分，如聚合物、肟类化合物、pH调节剂等，以确保在半导体晶圆制造过程中的稳定性和保护性‌