江西微波源粒子溅射
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Sairem公司是法国一家专注于提供微波源的公司,它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中。
SAIREM微波源除了有标准配置的产品,也可根据用户要求进行特殊定制。 SAIREM微波源标准配置产品主要包括2.45GHz系列和915MHz系列,每个系列又包括固态发生器和磁控管式发生器,也有脉冲式和连续式可选,并有不同的功率可选,每种发生器按照控制模式又包括数显控制式和远程控制式。
SAIREM直流高压电源的标准配置产品根据功率不同分为750W和1500W两种。化学催化加速反应釜等产品