江苏扬中滤波柜回收江苏扬中提拉式长晶炉回收

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提拉式单晶炉技术参数1、电源电压：380VAC±5%2、电源频率：50HZ 3、电源相数：3相3线制4、变压器容量：190KVA5、加热器加热功率：160KW6、加热温度：1600℃7、加热器加热电压：60V8、冷炉极限真空度：＜a9、晶体直径：￠6〞～￠8〞10、熔料量 ：90Kg11、主炉室尺寸：φ900×1250mm上炉室尺寸：φ900×900mm下炉室尺寸：φ900×350mm12、翻板阀通径：φ280mm13、封头炉盖高度：410mm14、副炉室尺寸：φ280×250015、籽晶转速范围：1～40rpm16、籽晶拉速范围：0.2～8mm/min17、籽晶快速：≥350mm/min18、籽晶在炉内有效行程：3500mm19、籽晶在副室内有效行程：2100mm20、坩埚升速范围：0.02～1mm/min21、坩埚快速：≥100mm/min22、坩埚在炉内有效行程：400mm23、坩埚转速范围：1～30rpm24、两个电极孔孔距：480mm 25、耗水量：25m3/h26、主机占地面积：2500x2000mm27、主机高度：6800mm28、主机重量：约7500Kg分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，本发明的直拉式单晶生长炉中，经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L，有效降低了生产成本，且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性，还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出，且利于减少热能和的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通，