电源模块140AMM09000

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ESI CKA 73435
TOKYO ELECTRON TEL LITHIUS ACT8 ACT12 WAFER HOLDER S200 K11202086N 
TOKYO ELECTRON TEL P8 P8XL PROBER STATUS PCB BOARD TVB6004-1 QMC3 3281-001184-17
0021-09922 
TOKYO ELECTRON TEL P8 P8XL PROBER PCB 3281-000146-12/11 
MITSUBISHI FX-4AD 
APPLIED MATERIALS AMAT EPI 300MM INTERLOCK MODULE PCB 0190-14285
ASML PAS2500
HP Agilent Laser Axis 10897B 
OMRON TEACH PENDANT C500-TU001 
TOKYO ELECTRON TEL P8 P8XL PROBER PCB 3286-002065-11 3G8B2-N0000
TOKYO ELECTRON TEL P8 P8XL PROBER PCB 3286-002066-11 3G8B2-N1001
TOKYO ELECTRON TEL P8 P8XL PROBER PCB 3281-000014-14 TVB3102-1/SIO
ASML PCB CARD 4022.430.0524 
SVG90S TRACK POWER SUPPLY 99-80295 
SVG PCB Spin Station Expansion 99-80207-02
ASAHI 913X3RBN3 TOKYO ELECTRON 3 WAY CONTROL VALVE 5K80-001624-11
ASYST 21 ROBOT END EFFECTOR 4022-5202-02 

数控机床是数字控制机床的简称，是一种装有程序控制系统的自动化机床。该控制系统能够逻辑地处理具有控制编码或其他符号指令规定的程序，并将其译码，用代码化的数字表示，南京第四机床有限公司通过信息载体输入数控装置。经运算处理由数控装置发出各种控制信号，控制机床的动作，按图纸要求的形状和尺寸，自动地将零件加工出来。

数控机床定位精度，是指机床各坐标轴在数控装置控制下运动所能达到的位置精度。数控机床的定位精度又可以理解为机床的运动精度。普通机床由手动进给，定位精度主要决定于读数误差，而数控机床的移动是靠数字程序指令实现的，故定位精度决定于数控系统和机械传动误差。机床各运动部件的运动是在数控装置的控制下完成的，各运动部件在程序指令控制下所能达到的精度直接反映加工零件所能达到的精度，所以，定位精度是一项很重要的检测内容。

1、直线运动定位精度检测

直线运动定位精度一般都在机床和工作台空载条件下进行。按国家标准和国际标准化组织的规定（ISO标准），对数控机床的检测，应以激光测量为准。在没有激光干涉仪的情况下，对于一般用户来说也可以用标准刻度尺，配以光学读数显微镜进行比较测量。但是，测量仪器精度比被测的精度高1~2个等级。

为了反映出多次定位中的全部误差，ISO标准规定每一个定位点按五次测量数据算平均值和散差-3散差带构成的定位点散差带。

2、直线运动重复定位精度检测

检测用的仪器与检测定位精度所用的相同。一般检测方法是在靠近各坐标行程中点及两端的任意三个位置进行测量，每个位置用快速移动定位，在相同条件下重复7次定位，测出停止位置数值并求出读数大差值。以三个位置中大一个差值的二分之一，附上正负符号，作为该坐标的重复定位精度，它是反映轴运动精度稳定性的基本指标。

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