方达新研发-龙门式双面研磨机SX-6B双面平面抛光研磨机
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双面研磨机的主要用途:
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面研磨、抛光。
工作原理:
2.本系列研磨机为精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产。
2.本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
特 点
1. 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2. 采用四个电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。
3. 修面机采用伺服马达驱动,能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳,得到的平面修整效果非好。
4. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等技术,系统的响应速度、更,并具有远程监控,远程维护功能;
5. 本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
技术参数:型号:SX-6B,研磨盘规格:φ380×φ140×12t 大加工工件尺寸:φ130mm 工件平面度(25mm):±0.1u以内
工件平行度(25mm):±0.2u以内 工件粗糙度(石英材料):0.4nm以内 研磨盘修面后平行度:±1u以内 游轮规格:φ155mm
游轮数量:5枚 下研磨盘转速:0~180rpm 下研磨盘电机功率:0.75kw 3相380V 上研磨盘研磨转速:0~60rpm
上研磨盘修面转速:0~180rpm 修面机速度:200mm/分钟 重量::1100kg