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为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响，进而保下驱动装置4的工作精度，所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置，所述下驱动装置4的底端设置有承载板41，所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上，所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181，所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部，所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接，所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接，以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动，以避免下驱动装置4受到外界震动的影响，所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部，且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接，以避免螺钉16的震动影响到承载板41。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，TD-800型软轴提拉型单晶炉，是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中，以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的硅单晶。单晶炉主机系统包括：底座立柱、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀室，副炉室，籽晶提升与旋转机构、液压驱动装置、真空系统，充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀室，可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。