三坐标测量机是由三个互相垂直的运动轴X，Y，Z建立起的一个直角坐标系，测头的一切运动都在这个坐标系中进行，测头的运动轨迹由测球中心来表示。测量时，把被测零件凡放在工作台上，测头与零件表面接触，三坐标测量机的检测系统可以随时给出测球中心点在坐标系中的位置。当测球沿着工件的几何型面移动时，就可以地的计算出被测工件的几何尺寸，现状和位置公差等
3D 激光扫描仪
这类扫描仪将激光光束投射到要扫描的物体上，然后让摄像头记录光束和物体相交的位置。扫描仪在空间中的位置根据所使用的技术（如关节臂或激光跟踪器）确定。激光扫描仪还可以根据定位目标点（系统随附的小贴纸，可直接贴在部件上）将扫描仪定位在与待扫描部件相对的空间中
蓝光扫描是一种尺寸测量方法，它可以将物体扫描成三维模型，然后在此基础上进行一系列尺寸测量。它在物体表面投影一个蓝光光栅，用摄像机拍摄畸变的光栅图像，从而实现物体表面三维轮廓的扫描测量，然后通过处理得到物体的三维数据模型