WT/G/M/85SLM/H2/R1气体质量流量计
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1.1用途与特点
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
1 量程范围 (0~5,100...)SCCM
(0~1,2,3,5,1,500,1000...3000)SLM
2 准确度 ±1%F.S ±0.5%F.S
3 线性 ±0.5~1.5%F.S
4 重复精度 ±0.2%F.S
5 响应时间 电特性:10sec 气特性:(1~4)sec
6 工作压差 0.1~0.5MPa
7 耐压 3MPa
8 工作环境温度 0~70℃
9 数字量 RS485 MODBUS协议
10 模拟量 DC 0~5V ,4~20mA 可选
11 供电 DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA
12 电气连接 DB15
13 漏率 1×10¬-8SCCSHe
14 底座材质 316L不锈钢
15 密封材质 氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶
16 气路接头 Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞</a></a>