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也可进行气体氮碳共渗（软氮化）处理。由炉壳、炉衬、炉盖升降机构、炉用密封风机、马弗罐、加热元件及电控系统等组成。

氮化处理是指一种在一定温度下一定介质中使氮原子渗入工件表层的化学热处理工艺。经氮化处理的制品具有的耐磨性、耐疲劳性、耐蚀性及耐高温的特性。
软氮化方法分为：气体软氮化、液体软氮化及固体软氮化三大类。国内生产中应用广泛的是气体软氮化。气体软氮化是在含有活性氮、碳原子的气氛中进行低温氮、碳共渗。