深圳爱德华分子泵商家EdwardsSTPiXA2206C

深圳爱德华分子泵商家Edwards STP iXA2206C
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Edwards STP iXA2206C 5轴磁轴承涡轮分子泵，ISO250F进线，集成控制器和内置电源，PROFIBUS。Edwards PN YT810Z040。

STP iXA2206C磁悬浮涡轮分子泵采用磁力轴承和电机驱动系统，极限压力为10-9 Torr。该集成控制器系列可与控制器完全连接，以在各种应用和过程中运行。它不需要传统的机架式控制器和互连电缆。完全集成的产品易于安装，占地面积小，是所有应用工具的一体化解决方案。转子完全由磁性轴承悬挂，因此消除了转子与泵其余部分之间的所有接触。除了提供非常低的振动，消除接触意味着没有轴承磨损，也不需要随后的泵维护。STP iXA2206C可以通过串口和STP-link监控软件直接连接到终端。软件显示，转速，电机状态，温度，转子平衡状态和磁铁轴承电流。

耐腐蚀性：
该泵具有镀镍转子和定子，泵内部构件适用于腐蚀性气体应用。这确保了高水平的耐腐蚀性。

磁力轴承技术：
转子由多轴磁力轴承悬挂，因此转子与泵的其余部分之间的所有接触都被消除了。除了提供非常低的振动外，消除接触意味着无轴承磨损且无需维护。

无振动：
转子的磁悬浮会导致极低的噪音和振动。峰峰值振动水平小于0.02μm。该振幅在泵的整个寿命期间保持恒定，并且没有麻烦的次谐波。

不含油：
所有STP涡轮分子泵均不含油。磁力轴承的使用消除了所有碳氢化合物润滑剂，确保涡轮分子泵不会污染真空过程。该特征在工业和表面科学或高能物理应用中是至关重要的（甚至微小程度的污染会破坏测量）。

免维护：
与传统的机械轴承不同，磁悬浮意味着没有摩擦接触，消除了磨损和振动的来源。此功能使STP涡轮分子泵可以运行多年，几乎不需要维护，将年度运营成本降至低，并确保实现大的正常运行时间。这种免维护功能对产生化学或放射性污染的过程特别有益。

自动平衡系统（ABS）：
ABS是5轴技术的特专利开发。如果引入任何转子不平衡（例如通过沉积过程副产物），则泵中的传感器检测转子运动的变化并补偿磁轴承场以允许转子在其自然惯性轴上旋转。这小化了传递到入口法兰的振动。ABS适用于所有泵转速。

安全备用轴承：
STP泵采用干式润滑轴向和径向机械轴承作为安全支撑轴承。这些支撑转子并在磁悬浮完全中断或大规模空气涌入的情况下保护泵，这克服了磁轴承刚度。这些滚珠轴承采用干式润滑，在正常运行时不与转子接触

.STP iXA2206C可用于各种应用，包括但不限于：
等离子蚀刻（氯，氟和溴化学），用于金属（铝），钨和电介质（氧化物）和多晶硅
电子回旋共振（ECR）蚀刻
薄膜沉积CVD，PECVD，ECRCVD，MOCVD
溅射
离子注入源，束线泵浦终端站
MBE
扩散
光刻胶剥离
晶体/外延生长
晶圆检查
装载锁室
科学仪器：表面分析，质谱，电子显微镜
高能物理：光束线，加速器
放射性应用：聚变系统，回旋加速器
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